10:15 〜 10:30 [14a-A305-6] ミニマルファブを用いた2層Al配線プロセスの開発(2) 〇古賀 和博1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)