16:00 〜 18:00 [13p-PB1-4] UHVスパッタエピタキシー法によるGaN層の成長 〇福田 直樹1、岩元 正紀1、長田 拓也1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)