14:00 〜 14:15 △ [14p-A303-2] 溶液塗布熱分解法の繰返しによる強誘電相Hf0.5Zr0.5O2積層膜の特性 〇(M1)大田 宗司1、井上 泰一1、広藤 裕一1、小池 一歩1、矢野 満明1 (1.大阪工大ナノ材研)