11:45 〜 12:00 [14a-A305-11] 局所クリーン化のための微粒子に関する基礎実験 〇谷島 孝1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)