09:30 〜 11:30 △ [13a-PA3-1] 絶縁層へのCu導入がCBRAMに与える影響のTEM内評価 〇武藤 恵1、中島 励1、藤田 順1、福地 厚1、有田 正志1、高橋 庸夫1 (1.北大院情報)