09:00 〜 09:15 [13a-D221-1] プラズマ励起アンモニアを用いた低温原子層堆積の表面反応評価 〇(M2)齋藤 健太郎1、吉田 一樹1、鹿又 健作2、三浦 正範2、有馬 ボシールアハンマド1、久保田 繁1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大 ROEL)