09:30 〜 11:30 [13a-PA6-1] ボロンドープSiC原料を用いた窒素・ホウ素コドープ4H-SiC結晶成長 〇江藤 数馬1、髙野 美育2、鈴木 将治2、一坪 幸輝2、加藤 智久1 (1.産総研、2.太平洋セメント)