16:00 〜 18:00 [13p-PA8-12] アニール処理における窒素含有DLCの特性変化 〇河上 瑛彦1、野村 明寛1、平塚 傑工2、中森 秀樹2、本間 章彦1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.東電大、2.ナノテック)