諸橋信一

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発表者・著者、共著者

2020年3月13日(金) 09:00 〜 10:30 A205 (6-205)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[13a-A205-1~6] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

10:00 〜 10:15

[13a-A205-5] DC-RF結合電源を用いたハイブリッド対向スパッタによるITO薄膜作製III
-DC電源単独とDC-RF結合電源使用時の堆積中の基板温度比較 -

〇諸橋信一¹ (1.山口大学)