16:00 〜 18:00 [13p-PA8-16] 各種子分子材料上に成膜したDLCの電気特性評価 〇高田 歩1、鈴木 貴大1、小畑 修二1、本間 章彦1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.東京電機大学)