10:45 〜 11:00 [14a-A305-7] ミニマルファブを用いたダイヤモンドウェハのデバイスプロセスⅡ 〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)