■PREVAC社製：イオンソース、電子銃、UVソース、Ｘ線源、マルチゲージコントローラー、マルチスパッタリング電源、成膜コントローラー ■UHV Design社製：XYZ+チルトマニピュレーター、トランスファーロッド、Zステージ、回転導入機、ビューポートシャッター ■Ionautics社製：HiPIMS用電源、ナノ粒子生成装置