2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[22] ウシオ電機(株)

■真空紫外光や大気圧プラズマによる新規改質技術の開発 ■レーザーアシストエッチングによる深孔加工技術の開発 ■偏光露光による配光パターニング技術の提案