2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[30] SPPテクノロジーズ(株)

SPPテクノロジーズ(株)

■SPPテクノロジーズが取り扱っています、MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。