2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[21] イノベーションサイエンス(株)

イノベーションサイエンス(株) ■HIDEN ANALYTICAL社 大気圧プラズマ分析装置モデルHPR-60、プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計モデルEQP、ラングミュアプローブモデルESPION、コンパクト型二次イオン質量分析計モデルCompact SIMS、自動昇温脱離ガス分析装置モデルTPD Workstation、TPD、TDS、残留ガス四重極質量分析計QMS、イオンミリング用エンドポイントディテク...

[22] ウシオ電機(株)

■真空紫外光や大気圧プラズマによる新規改質技術の開発 ■レーザーアシストエッチングによる深孔加工技術の開発 ■偏光露光による配光パターニング技術の提案

[26] AOV(株)

■1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置 ■2. 真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等) ■3. 複合型PLD/MBE蒸着装置 ■4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

[27] (株)エーシングテクノロジーズ

■スプレー塗布紹介パネル及び塗布サンプル。研究者・技術者が求める多種多様な新規材料の膜形成をお手伝いします。技術者の立会のもと『レンタル試作課』が助言をしながら迅速に試作します。研究者はその試作品の評価や材料企画に専念できます。

[30] SPPテクノロジーズ(株)

SPPテクノロジーズ(株) ■SPPテクノロジーズが取り扱っています、MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。

[34] MSHシステムズ(株)

■各種パルスレーザー、SC光源やレーザー用周辺機器の他、検出器・分光器・光学部品を提供しています。また、顕微ラマン、ポータブルラマン等の光計測装置もご案内致します。