■多目的真空蒸着装置 ■卓上型ナノ粒子成膜装置 ■極低温引張圧縮セル

未定

■PREVAC社製：イオンソース、電子銃、UVソース、Ｘ線源、マルチゲージコントローラー、マルチスパッタリング電源、成膜コントローラー ■UHV Design社製：XYZ+チルトマニピュレーター、トランスファーロッド、Zステージ、回転導入機、ビューポートシャッター ■Ionautics社製：HiPIMS用電源、ナノ粒子生成装置

■高感度冷却型CCD,EMCCD,sCMOS ■emICCD検出器 ■無収差型分光器 ■ラマン分光システム

■レーザー ■光検出器 ■無冷媒低温材料物性測定システムなど

■ナノ材料粒径評価への新提案　粒子分級による粒径分布計測装置：走査式モビリティーパーティクルサイザー　SMPS3938シリーズ

■光学計測に関する受託サービスの紹介 ■分光特性・光学定数の計測・微細周期構造などの光学シミュレーション ■光学デバイス・画像計測システムの開発事例 ■都産技研の事業紹介

未定

■受託分析サービス

■新規の透明導電膜用スパッタリングターゲット3種類を出展します。これらは、1）赤外光高透過 2）可視光低吸収 3）低温結晶化といった特徴を有します。

■比抵抗/ホール測定装置 ■テスラメータ ■小型電磁石 ■磁気フィールド可視化システム ■VSM ■極低温プローバ

■分析・測定・解析・調査受託に関する技術紹介

■波長可変半導体レーザー ■ピコ秒・フェムト秒レーザー

未定

■極低温プローバー ■極低温冷凍機 ■静電塗布装置 ■抵抗率測定装置

■AFMメーカー測定モード対応カンチレバー ■コロイドプローブ ■超高アスペクト比ティッププローブ ■高速スキャン用カンチレバー ■アクティブ除振台 ■防音ボックス（特注にも対応いたします）

■微細加工プラットフォームでは、全国１６の大学、研究機関が持つ最先端のナノ・マイクロ加工装置、評価装置を広く公開し、その技術、ノウハウを提供することで皆様の研究開発、試作実験などの支援をおこなっています。展示ブースでは、支援技術、装置や利用事例などをご紹介します。

■レーザーラマン顕微鏡 RAMANtouch

■エレクトロケミカルCVプロファイラー ■ホール効果測定装置 ■フォトルミネッセンスマッピングシステム ■FT-IRシステム ■分光反射率式膜厚測定システム

■光干渉顕微鏡システム BW-S/D500シリーズ