[12a-A201-1~8] 15.1 バルク結晶成長

[12a-A201-7] Cz-LiTaO₃単結晶インゴットにおける多結晶化発生点の構造

〇大迫 千峰¹、梶ヶ谷 富男¹、大野 裕² (1.住友金属鉱山、2.東北大金研)

キーワード：転位

表面弾性波フィルタ用材料として用いられるチョクラルスキー法育成のLaTiO₃結晶で、単結晶化率向上の大きな課題となるリニエージの発達による多結晶化抑制について、結晶内でのリニエージの分布と構造の解析を進めた。