[12a-A202-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [12a-A202-3] バイオテンプレート極限加工により作製したSiナノピラー構造設計による表面撥水性の制御

〇竹内 聡¹、大堀 大介¹、石田 昌久³、曽田 匡洋³、遠藤 和彦⁴、寒川 誠二^1,2,4 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.長瀬産業、4.産総研)

キーワード：撥水性、Siナノピラー構造、中性粒子ビーム

固体表面における撥水性の研究は様々な分野において注目を集めている。我々は独自技術であるバイオテンプレート極限加工技術を用いて高均一・高密度そして低欠陥の10 nmサイズのSiナノピラー構造を作製した。本研究では配置制御されたSiナノピラー構造の間隔や長さを変化させ、それによる撥水性の変化について検討した。