2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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[12a-A205-1~1] 製造業におけるAI技術適用と機械学習の基礎

2020年3月12日(木) 09:00 〜 12:10 A205 (6-205)

09:00 〜 12:10

[12a-A205-1] 製造業におけるAI技術適用と機械学習の基礎

〇守屋 剛1、〇狐塚 正樹2 (1.東京エレクトロン株式会社 コーポレートイノベーション本部 先端データ企画部 部長、2.東京エレクトロン株式会 社システム開発センター AI開発部シニアスペシャリスト)

講義内容:近年のAI技術の発展は目覚ましく、様々な産業における応用がなされるようになり、我々の生活の中でも活用されるようになってきました。本講演では、特に、製造業におけるAI技術の適用にフォーカスし、事例紹介とともに、基本的な機械学習の理論についての解説を行います。前半では、機械学習を研究開発に適用した効率向上の事例など、製造業でどのようにAI技術が使われているかを解説します。特に、半導体製造プロセスへの適用については、プラズマプロセスなどにおける条件最適化や材料スクリーニング等の事例について紹介します。後半では、機械学習の基礎や技術的手法などを中心に解説します。

守屋 剛
学歴
1995年3月 筑波大学第三学郡工学システム学類卒業
1997年3月 筑波大学大学院理工学研究科修士課程修了
2005年9月 広島大学大学院工学研究科博士課程修了(工学博士)
2008年3月 英国国立ウェールズ大学経営大学院修士課程修了(MBA)
職歴
1997年4月 日本電気株式会社へ入社
2001年6月 同社退社
2001年7月 東京エレクトロン株式会社へ入社
現在に至る
受賞歴
2000年11月20日 講演奨励賞:応用物理学会学術講演会
2004年3月10日 Best Paper:International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM2004)

狐塚 正樹
学歴
2003年3月 慶應義塾大学理工学部卒業
2005年3月 東京大学大学院理学系研究科修士課程修了
職歴
2005年4月 日本電気株式会社へ入社
2019年6月 同社退社
2019年7月 東京エレクトロン株式会社へ入社
現在に至る