[12a-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-A302-2] 微傾斜サファイア基板上N面AlNの表面平坦性と結晶性の向上

〇坂本 凌太¹、磯野 竜弥¹、伊藤 忠寿¹、安高 和哉²、姚 永昭³、石川 由加里³、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.山口大学、3.ファインセラミックスセンター)

キーワード：窒化アルミ、平坦性、結晶性