[12a-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-A302-3] N極性面 AlGaN / AlN 構造の結晶成長

〇伊藤 忠寿¹、安高 和哉²、坂本 凌太¹、磯野 竜弥¹、姚 永昭³、石川 由加里³、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大創成科学、2.山口大工、3.ファインセラミックスセンター)

キーワード：AlGaN / AlN、窒素極性、有機金属気相成長