[12a-A405-1~11] 12.2 Characterization and Materials Physics

[12a-A405-1] [Young Scientist Presentation Award Speech] Development of Real-time Surface Potential Measurement Method Using Rotary Kelvin Probe Measurement System

〇Masahiro Ohara¹, Tatsuya Watanabe², Yuya Tanaka^1,2,3, Hisao Ishii^1,2,3,4 (1.Fac. Eng. Chiba Univ., 2.GSSE Chiba Univ., 3.CFS Chiba Univ., 4.MCRC Chiba Univ.)

Keywords:Kelvin Probe Method, Surface Potential, Organic semiconductor

表面電位を膜厚の関数で測定しバンド曲がりを調べる際などに、表面電位をリアルタイムで測定する技術は不可欠である。前回の講演会では上記の測定を実現する「回転型KP法」による接触電位差測定装置の開発について報告した。今回これにエアブラシを組み合わせ、溶液塗布と表面電位計測を同時に行うことが可能なシステムを構築した。さらに実際に有機材料をエアブラシで塗布しながら表面電位をリアルタイム計測することに成功した。