[12a-A405-1~11] 12.2 評価・基礎物性

[12a-A405-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 回転型Kelvin Probe装置による表面電位リアルタイム測定法の開発

〇大原 正裕¹、渡辺 達也²、田中 有弥^1,2,3、石井 久夫^1,2,3,4 (1.千葉大工、2.千葉大院融合、3.千葉大先進、4.千葉大 MCRC)

キーワード：Kelvin Probe法、表面電位、有機半導体

表面電位を膜厚の関数で測定しバンド曲がりを調べる際などに、表面電位をリアルタイムで測定する技術は不可欠である。前回の講演会では上記の測定を実現する「回転型KP法」による接触電位差測定装置の開発について報告した。今回これにエアブラシを組み合わせ、溶液塗布と表面電位計測を同時に行うことが可能なシステムを構築した。さらに実際に有機材料をエアブラシで塗布しながら表面電位をリアルタイム計測することに成功した。