[12a-A405-1~11] 12.2 評価・基礎物性

△ [12a-A405-4] 半導体洗浄用PVAブラシ表面の水和・揺動構造が砥粒の吸着に与える影響の3D-SFM解析

〇五十嵐 陽彦¹、吉野 巧¹、宮田 一輝^1,2、宮澤 佳甫^1,2、宇野 恵³、高東 智佳子³、福間 剛士^1,2 (1.金大理工、2.金大NanoLSI、3.荏原製作所)

キーワード：原子間力顕微鏡、ポリビニルアルコール