[12a-B410-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[12a-B410-5] 時間依存偏光フェムト秒レーザーパルス照射により誘起されるジルコニアセラミックス表面の周期構造

〇欠端 雅之¹、屋代 英彦¹ (1.産総研　電子光)

キーワード：フェムト秒レーザー、表面周期構造、ジルコニア

3Y-TZP に形成されるLIPSSは、偏光に平行で周期Λが波長λよりわずかに大きい。これまでLIPSS形成機構解明のため、異なる偏光を持つパルス対照射を行い、パルスが時間的に重ならない遅延条件では先行パルスの偏光に平行なLIPSSが形成され、パルスが時間的に重なる遅延条件ではパルス間の相対位相に依存する振る舞いを示した。今回、パルスが重なる遅延領域における相対位相への依存性を調べた。この遅延条件では、時間的に偏光状態が変化するパルスを照射していることに相当する。