[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-1] Pt 触媒を用いたアルコール CVD 法による 単層カーボンナノチューブ成長：収率向上に関する検討

〇(B)山本 大貴¹、サラマ カマル¹、才田 隆広¹、成塚 重弥¹、丸山 隆浩¹ (1.名城大理工)

キーワード：カーボンナノチューブ、CVD

ACCVD法において，触媒蒸着前に基板の脱ガス処理を行うことでPt触媒を用いたSWCNT成長の成長量を増やすことができた．