[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-16] フレキシブル薄膜トランジスタに向けた架橋性アミンポリマーを用いたカーボンナノチューブ薄膜の製膜

〇松本 海成¹、上野 和樹¹、廣谷 潤²、大野 雄高^2,3、大町 遼^1,4 (1.名大理、2.名大工、3.名大未来研、4.名大物国センター)

キーワード：カーボンナノチューブ、薄膜トランジスタ、フレキシブル

メトキシカルボニルポリアリルアミン（Moc-PAA）を使用した溶液ベースの単層カーボンナノチューブ（SWCNT）薄膜製膜を報告する。架橋Moc-PAA層のNH₂表面により、剛性基板と柔軟性基板の両方に高密度で均一なSWCNTネットワークを形成でき、製膜されたSWCNT薄膜を使用したTFTは、わずかな変動で優れた性能を示した。このように簡便にSWCNT薄膜を基板上に製膜する方法は、フレキシブルナノエレクトロニクスの実現につながると考えられる。