[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-37] 酸化インジウムを積層させたグラフェンのガスセンシング評価

井須 亮太¹、前田 翔児¹、〇藤元 章¹、Christopher J. Perini²、寺澤 大樹³、福田 昭³、小山 政俊¹、原田 義之¹、小池 一歩¹、矢野 満明¹、塚越 一仁⁴、Eric M. Vogel² (1.大阪工業大学ナノ材研、2.ジョージア工科大学、3.兵庫医科大学物理、4.物質・材料研究機構)

キーワード：グラフェン、酸化インジウム、ガスセンシング

ガスセンサの高感度化を狙うために，酸化インジウムのALD膜をグラフェン上に成長させた試料でガスセンシング特性を評価した．NOガスを10 ppmから100 ppmの範囲で変化させると，ステップ状の応答が得られ，100 ppmのNOガスでは，2桁以上の抵抗の増大が観測された．air gas中でNOガスがNO₂ガスに変化したため，酸化インジウムの抵抗が増加する酸化性ガスの吸着応答を示した．