[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-47] トレンチを用いたボトムゲート型グラフェン共振器の作製と特性評価

〇古川 篤¹、宮下 寛也¹、アハメド ハマム¹、マノハラン ムルガナタン¹、槇 恒²、水田 博^1,3 (1.北陸先端大、2.太陽誘電(株)、3.日立ケンブリッジ研)

キーワード：グラフェン

現在、皮膚から発生するガスによって疫病の早期発見をするという技術の需要が増大している。しかし、現在のガス検出方法では実現できないことから、小型かつ高感度のガスセンサの開発が急務となっている。このような状況の下、我々はグラフェンNEMS技術をガスセンサへ応用する研究を行っている。今回は、さらなるガス検出感度の向上を目的とした、デバイス作製方法の改善について報告する。