[12a-PA2-1~77] 17 Nanocarbon Technology

[12a-PA2-52] Fabrication and evaluation of bottom gate graphene resonator

〇(M2)Hiroya Miyashita¹, Atsushi Furukawa¹, Amit Banerjee¹, Ahamed Hammam¹, Manoharan Muruganathan¹, Hisashi Maki², Hiroshi Mizuta^1,3 (1.JAIST, 2.TAIYO YUDEN CO., LTD., 3.Hitachi Cambridge Lab)

Keywords:graphene, resonator, bottom gate

本研究では，サスペンデッドグラフェン共振器による質量検出の高感度化を図った．従来の構造ではトップゲート電極により，グラフェン振動子へのガス分子の吸着が阻害されていた．そこでガス分子の吸着を効率化するため，ボトムゲート型のデバイスの作製に取り組んだ．その際，ソース-ドレイン電極のエッジ構造や作製手順により，グラフェンの壊れやすさに大きな違いが確認された．詳細な構造や作製手順は当日報告する．