[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-52] ボトムゲート型グラフェン共振器の作製と評価

〇(M2)宮下 寛也¹、古川 篤¹、アミット バネルジー¹、アハメド ハマム¹、マノハラン ムルガナタン¹、槇 恒²、水田 博^1,3 (1.北陸先端大、2.太陽誘電（株）、3.日立ケンブリッジ研)

キーワード：グラフェン、共振器、ボトムゲート

本研究では，サスペンデッドグラフェン共振器による質量検出の高感度化を図った．従来の構造ではトップゲート電極により，グラフェン振動子へのガス分子の吸着が阻害されていた．そこでガス分子の吸着を効率化するため，ボトムゲート型のデバイスの作製に取り組んだ．その際，ソース-ドレイン電極のエッジ構造や作製手順により，グラフェンの壊れやすさに大きな違いが確認された．詳細な構造や作製手順は当日報告する．