[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-62] 原子層積層構造の平坦化法の検討

〇上田 哲大¹、堀田 貴都¹、上野 啓司²、渡邊 賢司³、谷口 尚³、北浦 良¹ (1.名大院理、2.埼玉大院理工、3.物材機構)

キーワード：原子層物質、転写

非常に薄い物質である原子層物質は、その薄さに由来する新たな物性が観測できる。一方で基板表面の微細な凹凸や表面に付着した分子の影響を受けやすく、本来の性質を観測するのが困難である。この問題を解決するため、hBNによって原子層物質を上下から挟み込み、保護する手法が着目されてきたが、挟み込む過程において不純物が挟み込まれてしまう問題がある。本研究では、平坦な原子層積層構造の作製を目指した。