[12a-PB1-1~10] 1.1 Interdisciplinary and General Physics

[12a-PB1-9] Molecular Dyanmics Study on Shear Characteristics of Nano-Scale Thin-Film (Ⅱ)

〇Kazuhiro Tada¹, Keita Mukougawa¹, Hikaru Kanahara¹, Yuya Miyashita², Masaaki Yasuda², Yoshihiko Hirai² (1.NIT, Toyama Coll., 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:nanotribology, molecular dynamics, atomic stress distribution

ナノスケールの半導体デバイスの需要が高まっている中，そのナノ加工プロセスとして，ナノインプリント等が注目されている．ナノインプリントにおいては，アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性[1]などナノトライボロジー現象に関する未解決な課題も多い．
我々はこれまで，ナノトライボロジー現象の基礎的知見を得ることを目的とし，分子動力学法を用いて，ナノスケールの隙間を有する基板に挟まれた有機材料のせん断特性解析を行い，せん断条件の違いにより，せん断応力が大きく異なってくることを調べてきた．本研究では，せん断応力が異なってくる原因を原子レベルから調べるために，原子一つ一つにかかる応力がわかる原子応力分布解析を行った．