[12a-PB2-1~7] 1.5 計測技術・計測標準

[12a-PB2-7] 強磁性Pd基合金薄膜のホール効果と水素検出素子への応用

〇赤丸 悟士¹、山本 晴也² (1.富山大水素研セ、2.富山大工)

キーワード：水素、PdCo合金、磁性

強磁性Pd基合金薄膜の水素吸収による磁化変化を利用した水素センサ構築の一環として、よりコンパクトな形での磁化変化検出システムを構築するため、ホール効果の利用について検討した。5nmのPdCo薄膜は磁化に依存した大きな異常ホール効果を示し、また水素吸収によりその値が大きく変化した。これよりPdCoの水素吸収に伴う磁化変化がホール起電力より検知可能であるとわかった。