[12a-PB3-1~19] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [12a-PB3-15] Surface nano patterning of fluoropolymer and PET sheets by thermal nanoimprint for deposition of functional thin films

〇(B)Naho Kaneko¹, Tomoaki Oga¹, Atsushi Oshima¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:thermal nanoimprint, thin film deopsition, nano patterning

大面積、フレキシブル、軽量等の特長をもつポリマーシートは、機能性酸化物と組み合わせた応用発展が期待できる。ポリマー基板上の酸化物薄膜の結晶核形成や成長方位制御にはポリマー表面形状も重要な因子となり、その応用にはポリマーの化学的安定性と熱・機械的変形性を考慮した微細周期パターニングの検討が重要となる。そのため本研究では、フッ素樹脂や延伸PET基板等のナノレベルパターニングと酸化物薄膜堆積を検討した。