[12a-PB3-1~19] 12.1 作製・構造制御

△ [12a-PB3-15] 熱ナノインプリントによるフッ素樹脂・PET等ポリマーシートのナノレベル表面パターニングと機能性薄膜堆積

〇(B)金子 奈帆¹、大賀 友瑛¹、大島 淳史¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント、薄膜堆積、ナノレベルパターニング

大面積、フレキシブル、軽量等の特長をもつポリマーシートは、機能性酸化物と組み合わせた応用発展が期待できる。ポリマー基板上の酸化物薄膜の結晶核形成や成長方位制御にはポリマー表面形状も重要な因子となり、その応用にはポリマーの化学的安定性と熱・機械的変形性を考慮した微細周期パターニングの検討が重要となる。そのため本研究では、フッ素樹脂や延伸PET基板等のナノレベルパターニングと酸化物薄膜堆積を検討した。