[12p-A201-1~8] 15.1 バルク結晶成長

[12p-A201-5] 抵抗加熱式VB炉の開発と直径2インチβ-Ga₂O₃単結晶育成

〇干川 圭吾^1,2、小林 壮¹、松木 雄太¹、大葉 悦子²、小林 拓実² (1.信州大工、2.不二越機械工業)

キーワード：β型酸化ガリウム単結晶、垂直ブリッジマン(VB)法

大気中で1830℃まで加熱可能な抵抗加熱式VB炉を新たに開発し、この炉を適用し、Pt-Rh合金るつぼを用いて直径50mmのβ- Ga₂O₃単結晶育成に成功した。