[12p-A201-1~8] 15.1 バルク結晶成長

△ [12p-A201-6] VB法β-Ga₂O₃結晶成長における成長速度の計算と制御

〇(M1)松木 雄太¹、小林 壮¹、太子 敏則¹、干川 圭吾^1,2、大葉 悦子²、小林 拓実² (1.信州大工、2.不二越機械工業)

キーワード：β-酸化ガリウム、バルク結晶成長、数値解析

我々は新規開発VB炉で大気中・PtRhるつぼを用い、直径 2-inch β-Ga₂O₃単結晶育成に成功した。炉内の非定常計算を行った結果、育成初期はるつぼ軸移動速度より成長速度が遅く、その後徐々に増加することが示唆された。