[12p-A201-1~8] 15.1 バルク結晶成長

[12p-A201-8] 深層強化学習を用いたRF-TSSG法によるSiC結晶成長プロセスの最適化

〇岡野 泰則¹、ワン レイ¹、竹原 悠人¹、関本 敦¹、宇治原 徹² (1.阪大院基礎工、2.名大院)

キーワード：数値計算、SiC、TSSG法

RF-TSSG法でのSiC結晶成長プロセスにおいて、数値流体力学と深層強化学習を結びつけることにより液相内流動現象を最適化した。