2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

2020年3月12日(木) 13:15 〜 18:00 A302 (6-302)

富田 健太郎(九大)、中川 雄介(首都大)、田中 学(九大)

17:15 〜 17:30

[12p-A302-16] 電子サイクロトロン共鳴多価イオンにおける高域混成周波数共鳴加熱実験

加藤 裕史1、大森 貴之1、奥村 一起1、久保 渉1、針﨑 修平1 (1.阪大院工)

キーワード:電子サイクロトロン共鳴多価イオン源、高域混成周波数共鳴、電子エネルギー分布関数

電子サイクロトロン共鳴(Electron Cyclotron Resonance: ECR)イオン源(ECRIS)における多価イオン生成の実験的研究を推進する過程でECRの効率化や電磁波伝搬の近接条件に対する考察を行い,新たな共鳴現象すなわち高域混成周波数共鳴(Upper Hybrid Resonance: UHR)が発生している可能性があることが判明した.更なる多価イオンビームの高収量化に本現象を寄与させるためにECRISで通常用いられている周波数よりかなり離れた高周波数のマイクロ波を重畳給電する実験を行った.その結果,第2周波数のマイクロ波を重畳させることで多価イオン電流が増大した. その際電子エネルギー分布関数の空間分布測定によれば,中心よりUHR領域が存在していると理論的に予想される周辺部で高エネルギー側の増大が顕著に観測され,UHRの発生による加熱に起因していると考えられる.