[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-18] ECRイオン源からのXeイオンビーム形成とビーム減速実験

〇奥村 一起¹、大森 貴之¹、久保 渉¹、針﨑 修平¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：Xeイオンビーム

人工衛星の設計において，低エネルギーにおけるXeイオンビームのスパッタリングは問題である．そこで，実際の衛星材料に低エネルギーXeイオンビームを照射しスパッタリング量を定量評価することを目指した装置構築・実験に取り組んでいる．本研究では，プラズマ生成条件を変化させたときの減速時におけるXe^q+イオンビーム電流測定，減速時のビームプロファイル測定を行うための系の構築を行う．