[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [12p-A302-2] Difference among translational temperatures of gas species and electronic excited states in plasmas

〇Kosuke Takada¹, Syusuke Nishiyama¹, Koichi Sasaki¹ (1.Hokkaido Univ.)

Keywords:absorption spectroscopy

プラズマプロセスには混合ガスプラズマが用いられることが多い。ガス温度は混合ガス中の一つのガス種あるいはトレーサーとして少量導入した別のガスの分子発光スペクトルや原子吸収スペクトルから光学的に計測されることが多いが、そのように計測した温度が混合ガスを代表する温度といえるかどうかは検討を要する。そこで、本研究では、レーザー吸収分光法を用いてドップラー広がりした原子線の吸収スペクトルを計測することで、混合ガスプラズマのガス種によって並進温度がどのよう異なるかを調べた。また電子励起状態によっても並進温度がどのように異なるかを調べた。