The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

Thu. Mar 12, 2020 1:15 PM - 6:00 PM A302 (6-302)

Kentaro Tomita(Kyushu Univ.), Nakagawa Yusuke(首都大), Manabu Tanaka(Kyushu Univ.)

1:30 PM - 1:45 PM

[12p-A302-2] Difference among translational temperatures of gas species and electronic excited states in plasmas

Kosuke Takada1, Syusuke Nishiyama1, Koichi Sasaki1 (1.Hokkaido Univ.)

Keywords:absorption spectroscopy

プラズマプロセスには混合ガスプラズマが用いられることが多い。ガス温度は混合ガス中の一つのガス種あるいはトレーサーとして少量導入した別のガスの分子発光スペクトルや原子吸収スペクトルから光学的に計測されることが多いが、そのように計測した温度が混合ガスを代表する温度といえるかどうかは検討を要する。そこで、本研究では、レーザー吸収分光法を用いてドップラー広がりした原子線の吸収スペクトルを計測することで、混合ガスプラズマのガス種によって並進温度がどのよう異なるかを調べた。また電子励起状態によっても並進温度がどのように異なるかを調べた。

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