[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [12p-A302-2] プラズマ中のガス種および電子状態による並進温度の違い

〇高田 晃佑¹、西山 修輔¹、佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：吸収分光

プラズマプロセスには混合ガスプラズマが用いられることが多い。ガス温度は混合ガス中の一つのガス種あるいはトレーサーとして少量導入した別のガスの分子発光スペクトルや原子吸収スペクトルから光学的に計測されることが多いが、そのように計測した温度が混合ガスを代表する温度といえるかどうかは検討を要する。そこで、本研究では、レーザー吸収分光法を用いてドップラー広がりした原子線の吸収スペクトルを計測することで、混合ガスプラズマのガス種によって並進温度がどのよう異なるかを調べた。また電子励起状態によっても並進温度がどのように異なるかを調べた。