The 67th JSAP Spring Meeting 2020

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Oral presentation

8 Plasma Electronics » 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

Thu. Mar 12, 2020 1:15 PM - 6:00 PM A302 (6-302)

Kentaro Tomita(Kyushu Univ.), Nakagawa Yusuke(首都大), Manabu Tanaka(Kyushu Univ.)

2:15 PM - 2:30 PM

[12p-A302-5] Simultaneous measurement of atomic oxygen and ozone densities under pure oxygen short-gapped discharge

Yusuke Nakagawa1, Takuya Kawakita1, Satoshi Uchida1, Fumiyoshi Tochikubo1 (1.Tokyo Metro Univ.)

Keywords:atmospheric pressure oxygen discharge, laser spectroscopy

大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(3P)とオゾンO3が重要な役割を担うが、これらの生成に有利な純酸素放電におけるO(3P)及びO3の挙動は未解明である。これは光学的手法によるO(3P), O3の局所密度計測が純酸素放電下で困難なためである。本研究では二光子励起レーザ誘起蛍光法において、O(3P)とO3で信号のレーザ光強度依存性が異なる点に着目し、双方の同時計測を行った。O(3P)とO3の局所密度の時間変化を観測できたため、報告する。

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