[12p-A302-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

[12p-A302-5] Simultaneous measurement of atomic oxygen and ozone densities under pure oxygen short-gapped discharge

〇Yusuke Nakagawa¹, Takuya Kawakita¹, Satoshi Uchida¹, Fumiyoshi Tochikubo¹ (1.Tokyo Metro Univ.)

Keywords:atmospheric pressure oxygen discharge, laser spectroscopy

大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(³P)とオゾンO₃が重要な役割を担うが、これらの生成に有利な純酸素放電におけるO(³P)及びO₃の挙動は未解明である。これは光学的手法によるO(³P), O₃の局所密度計測が純酸素放電下で困難なためである。本研究では二光子励起レーザ誘起蛍光法において、O(³P)とO₃で信号のレーザ光強度依存性が異なる点に着目し、双方の同時計測を行った。O(³P)とO₃の局所密度の時間変化を観測できたため、報告する。