[12p-A302-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[12p-A302-5] 極短ギャップ純酸素放電における酸素原子とオゾンの同時密度計測

〇中川 雄介¹、川北 拓弥¹、内田 諭¹、杤久保 文嘉¹ (1.首都大システムデザイン)

キーワード：大気圧純酸素放電、レーザ分光

大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(³P)とオゾンO₃が重要な役割を担うが、これらの生成に有利な純酸素放電におけるO(³P)及びO₃の挙動は未解明である。これは光学的手法によるO(³P), O₃の局所密度計測が純酸素放電下で困難なためである。本研究では二光子励起レーザ誘起蛍光法において、O(³P)とO₃で信号のレーザ光強度依存性が異なる点に着目し、双方の同時計測を行った。O(³P)とO₃の局所密度の時間変化を観測できたため、報告する。