[12p-A403-1~15] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

△ [12p-A403-13] [Highlight]Direct pattern printing of liquid Si by inkjet method

〇(M2)Yudai Yumoto¹, Maui Nakayama¹, Takashi Masuda¹, Kimihiko Saito², Hirotaka Katayama³, Akira Terakawa³ (1.JAIST, 2.Fukushima Univ., 3.Panasonic)

Keywords:liquid silicon, solar cell, printed electronics

私達が創出した「液体Si」とは、常温常圧で液体、脱水素化により固体Si（半導体Si)となる液体材料である。本研究の目的は「p型及びn形液体Siの創出」とその「インクジェット印刷」により、半導体Siの直接パターニング技術を実証することである。材料の合成および印刷条件を最適化し、膜厚が数～数十nmの平坦性に優れた非晶質Siを得ることができた。本技術をヘテロ接合太陽電池へ適用する試みについても報告する。