[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [12p-A403-13] 【注目講演】インクジェット法による液体Siの直接パターン印刷に関する研究

〇(M2)湯本 侑大¹、中山 茉初¹、増田 貴史¹、齊藤 公彦²、片山 博貴³、寺川 朗³ (1.北陸先端大、2.福島大、3.パナソニック)

キーワード：液体シリコン、太陽電池、プリンテッドエレクトロニクス

私達が創出した「液体Si」とは、常温常圧で液体、脱水素化により固体Si（半導体Si)となる液体材料である。本研究の目的は「p型及びn形液体Siの創出」とその「インクジェット印刷」により、半導体Siの直接パターニング技術を実証することである。材料の合成および印刷条件を最適化し、膜厚が数～数十nmの平坦性に優れた非晶質Siを得ることができた。本技術をヘテロ接合太陽電池へ適用する試みについても報告する。