[12p-A403-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-A403-8] 酸化チタン/結晶シリコンヘテロ構造における水素プラズマ処理の効果

〇宮川 晋輔¹、後藤 和泰¹、ビルデ マーカス²、小倉 正平²、黒川 康良¹、福谷 克之²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東大生研)

キーワード：酸化チタン、パッシベーション、水素プラズマ処理